Silikon yağı endüstrisinde genellikle atık gaz için iki tedavi süreci vardır
RTO rejeneratif termal yanmaVeSprey yöntemi + aktif karbon adsorpsiyonu. Egzoz gazı arıtma cihazı bir gaz-sıvı ayırıcı, derin bir kondenser, asit yıkama kulesi, bir alkali yıkama kulesi, kuru filtre, bir RTO katalitik yanma fırını ve bir egzoz bacası içerir.